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微奈米系統實驗室

微奈米系統實驗室技術服務收費價目:

設備名稱

英文名稱

系內

學術 (含系外)

產業界

備註

光學顯微鏡

Optical Microscope

400元 / 小時

800元 / 小時

1200元 / 小時

表面輪廓儀

Surface Profilometer  (α-step)

200元 / 片

400元 / 片

800元 / 片

光罩對準曝光機

Mask Aligner

500 元 / 小時

1000元 / 小時

1500元 / 小時

含晶片塗佈光阻,光阻去除,顯影,定影,光罩對準,晶片紫外光曝光。不含 wafer及mask。

光阻塗佈機

Photo Resist   Spin Coater

400元 / 片

800元 / 片

1200元 / 片

含晶片塗佈光阻,光阻去除,顯影,定影,光罩對準,晶片紫外光曝光。不含 wafer及mask。

快速熱退火爐

Rapid Thermal Annealing Furnace

500 元 / 小時

1000元 / 小時

1500元 / 小時

電子槍蒸鍍機

E-beam evaporation

800 元/次 +   4000元開機費

800 元/次 +   5000元開機費

800 元/次 +   6000元開機費

靶材另外收費,   以時價訂定。

反應離子蝕刻系統

Reactive Ion Etching System

800 元/2小時 +   2000元開機費 +   2000 製作費

800 元/2小時 +   3000元開機費 +   3000 製作費

800 元/2小時 +   4000元開機費 +   4000 製作費

濺鍍機

Sputter

800 元/次 +   4000元開機費

800 元/次 +   5000元開機費

800 元/次 +   6000元開機費

靶材另外收費,   以時價訂定。

氦氣測漏儀

He Leaking Detector

200元 / 片

400元 / 片

800元 / 片

晶片焊線機

Chip Solder

250元 / 片

500元 / 片

1000元 / 片

諮詢電話 (02)2771-2171分機2004